3 4 100级主洁净室(包括清洗屠)的空调
方式
采用PAHu+AHu+FFu的空凋方式,见图3
其中:PAHU
为新风处理机组(PrimaD"Air
Handing Unit);
AHU为空气处理机组(Air Handling
unit):
FFU为带风机的高教过滤器(Fan Filter
U·
nit,em99.99%MPPS)。
系统中加PAHU,洁净室正压由PAHU风机
马达变频控制,同时使室外环境的变化对洁净室
的影响减小,对洁净室的温、湿度控制有利。一
楼主洁净室共设PAHU
3台, 新风处理总量为
30,O00CMH,新风处理到低于室内空气含湿量;
AHU
5台,空气处理总量为394,O00CMH
二楼主洁净室共设PAHU 3台,新风处理总
量为39.500CMH;AHU
10台,空气处理卷量为
616,o【x】CMH。