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[洁净空调系统] 如何确定FAB洁净厂房的新风量?

如何确定FAB洁净厂房的新风量?

我看过其他行业的人士对洁净厂房新风量确定的各种说法,感觉五花八门,好像都有理。
那我以“FAB洁净厂房新风量的确定”为题,来谈谈半导体芯片厂HVAC设计区别于其他产业的地方。
经验公式:FAB新风量=工艺设备总排气量+加压风量(相当于一次换气次数的风量)。
看看上式好像十分简单,里面的道理却不少。详细解释下次再细述。

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